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wwaxer.JPG (3540 個位元組)

 

將wafer在研磨前固定於

研磨盤上的設備

1.熱盤將蠟融化

2.將晶片放上

3.轉換至冷卻盤加壓

Ww2.jpg (8408 個位元組) 

 

自動機台

 

手動機台

 

 

 
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